バックグラインドテープ

Back Grinding Tape

機能性接着フィルム半導体薄ウエハ工程材料

この材料でできること

バックグラインドテープは、半導体ウエハの裏面を研削して薄くする工程で、回路面(表面)を傷や汚れから守る粘着フィルムです。研削後に剥がし、後工程へつなぎます。

買う側にとっては、「薄ウエハを作りたいが、表面ダメージと歩留まりが心配」なときの工程材料です。粘着力・耐研削性・剥離後の残渣が検討の中心です。

こんな場面・課題に向く

ウエハ薄化

裏面研削中の回路面保護

薄型パッケージ

モバイル・積層向けの薄ウエハ

割れ抑制

研削ストレスから表面を守る

後工程への受け渡し

ダイシング前の表面保護

検討のヒント

検討の観点なぜ見るか目安
粘着力と剥離性研削中は保持、後はきれいに剥がせるか—
耐研削・耐熱研削熱・クールラントへの耐性—
残渣・汚染剥離後の表面汚れリスク—
ウエハ厚・サイズ目標仕上がり厚への適合µm

取り扱い主要メーカー

バックグラインドテープ

ウエハ薄化工程向け表面保護テープ

バックグラインドテープ

半導体裏面研削向け保護テープ

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